MCV質(zhì)量流量控制器

• 響應(yīng)時間50-100ms
• 量程 0.5sccm-20slpm
•   模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）
• 30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體
•  精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
•   可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
•   操作量程1%-100%
• 數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度
• 無預(yù)熱時間
•  小巧設(shè)計，方便替換其他設(shè)備
•  保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10^-9的氣動截止閥
•   終身維修

性能	MCV質(zhì)量流量控制器	描述
精度	±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度	在沒有流量條件下校準(zhǔn)
高精度選項	±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度	在沒有流量條件下校準(zhǔn)
重復(fù)性	±0.2%	滿量程
操作量程	1%-100%的滿量程	測量和控制
響應(yīng)時間	100	毫秒（可調(diào)）
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（STP）	25°&14.696PSIA	僅測量質(zhì)量流量用
操作溫度	-10～50	℃
零點漂移	0.02％	滿量程/℃/Atm
量程漂移	0.02％	滿量程/℃/Atm
濕度范圍	0-100%	無冷凝
控制流量范圍	102.4%	滿量程
最大耐壓	145	PSIG
輸入/輸出數(shù)字信號	質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度	RS-232或PROFIBUS
輸入/輸出模擬信號	質(zhì)量流量	0-5VDC
可選輸入/輸出 第二路模擬	質(zhì)量流量、體積流量、絕壓或溫度	0-5VDC,0-10VD或4-20mA
電氣連接	8針或者DB-15
供電電壓：質(zhì)量流量計	12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA輸出）
供電電流：質(zhì)量流量計	0.300Amp
安裝位置敏感度	無
預(yù)熱時間	＜1	秒
閥泄漏率	1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)大氣壓sccm/s 氦氣最大
接液材質(zhì)	316L不銹鋼；FFKM(Kalrez)標(biāo)準(zhǔn)； Viton®；EDPM；Buna一些氣體所需的氯丁橡膠；質(zhì)量流量控制器還附加303不銹鋼，430不銹鋼
1、  高精度選項不包括量程低于5sccm 2、  如果選擇PROFIBUS通信，則沒有模擬信號可選。PROFIBUS的設(shè)備不帶顯示，看PROFIBUS性能所需的供電電壓和電流 3、  如您需要特殊材質(zhì)，請聯(lián)系A(chǔ)licat公司咨詢

滿刻度MCV控制器	機(jī)械尺寸	過程連接
0.5SCCM -20SLPM	4.992”H x 6.710”W x 1.50”D	1/4” VCR 外螺紋
推薦使用焊接的VCR配件（過程連接），請參考42頁