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離子束設(shè)備300Plus

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英國牛津離子束設(shè)備300Plus產(chǎn)品分類
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英國牛津離子束設(shè)備300Plus詳細介紹
離子束設(shè)備300Plus性能特點

英國牛津 離子束設(shè)備 - Ionfab 300Plus介紹

Ionfab 300Plus是模塊化的離子束(Ion Beam)刻蝕和沉積系統(tǒng),是用離子束的方法對樣片進行刻蝕和濺射沉積,從而達到高準確度、高精度的客戶要求。最大直徑8英寸,厚度最高達8.5mm的多種類型樣片可以被自動進片系統(tǒng)裝入反應(yīng)室,帶積分中和的15cm離子源使產(chǎn)品的均勻性得到巨大的提高。

Ionfab300Plus被設(shè)計成一個模塊化的離子束系統(tǒng),用于離子束刻蝕和離子束鍍膜。

  它已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種類型的工藝研究和生產(chǎn),特別在半導(dǎo)體行業(yè)和光學(xué)鍍膜領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

離子束設(shè)備 Plasmalab Ionfab300Plus 產(chǎn)品介紹  

該設(shè)備可以被配置成:

       國際教育局(惰性氣體離子束蝕刻)
       里伯(反應(yīng)離子束蝕刻)
       CAIBE (化學(xué)輔助離子束蝕刻)
       IBSD (離子束濺射沉積
       IASD (離子輔助濺射沉積) 
       RIBD (反應(yīng)離子束沉積)
英文
  • IBE(Inert Gas Ion Beam Etch)
  • RIBE(Reactive Ion Beam Etch)
  • CAIBE(Chemically Assisted Ion Beam Etch)
  • IBSD(Ion Beam Sputter Deposition
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  • RIBD(Reactive Ion Beam Deposition)
  •   
    離子束設(shè)備 Plasmalab Ionfab300Plus 典型應(yīng)用:     

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          微波集成電路
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          紅外線探測器
          薄膜磁頭
         SAW (聲表面波)器件
          介電光學(xué)薄膜
          透視鏡
          金剛石涂層
    英文 
  • GaAs Opto-electronics
  • Microwave integrated circuits
  • InP laser optics
  • Infra red detectors
  • Thin film magnetic heads
  • SAW(Surface Acoustic Wave)devices
  • Dielectic optical coatings
  • X-ray mirrors
  • DLC coatings 
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