美國HACH ULTRA (PSI)是全世界第一家也是目前最大的微粒子偵測系統(tǒng)供應(yīng)商,1960成立至今已有40年以上的歷史,旗下包括MetOne , ROYCO, HIAC, HYT四個部們,分別供應(yīng)無塵室,高壓氣體,Hepa/Ulpa泄漏量測及中央監(jiān)控系統(tǒng)(FMS), DIW純水系統(tǒng), 化學(xué)品, 高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑,真空制程設(shè)備。