型 號 |
數(shù)顯分辨率 |
十次測量重復(fù)性 |
穩(wěn)定性(漂移) |
示值誤差(微米) |
測量范圍 |
適用范圍 | ||
絕對法 |
比較法 |
絕對法 |
相對法 | |||||
LK005 |
0.05 μm |
0.1 μm |
≤100nm/小時 |
±(0.15+0.015L) |
≤ ±(0.05+0.005ΔL) |
10 mm |
110 mm |
檢新五等量塊 |
LK001 |
0.01 μm |
0.03 μm |
≤20nm/小時 |
±(0.07+0.007L) |
≤ ±(0.02+0.002ΔL) |
10 mm |
110 mm |
檢新四等量塊 |
LK0005 |
0.005 μm |
0.015 μm |
≤10nm/小時 |
±(0.04+0.004L) |
≤± (0.015+0.0015ΔL) |
10 mm |
110 mm |
檢新三等量塊 |
LK0001 |
0.001 μm |
0.004 μm |
≤5nm/小時 |
±(0.02+0.002L) |
≤± (0.007+0.0007ΔL) |
10 mm |
110 mm |
|