專(zhuān)為半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)而設(shè)計(jì),適合多點(diǎn)安裝的微量水分異動(dòng)預(yù)警系統(tǒng)
特點(diǎn):
◆ 快速響應(yīng)ppb水平的微量濕度變化
◆ 高靈敏度,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
◆ 小巧經(jīng)濟(jì),適合多點(diǎn)安裝
◆ 報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程
◆ 交通燈直觀狀態(tài)顯示
◆ MODBUS 兼容
典型運(yùn)用:
◆ 在線檢測(cè)半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
技術(shù)參數(shù):
響應(yīng)時(shí)間 |
<1Min ( 在1ppb基礎(chǔ)上的20ppb變動(dòng)) |
濕度范圍 |
1ppb~20,000ppm |
工作壓力 |
0~10Bar |
壓力等級(jí) |
30 MPa |
泄漏測(cè)試 |
0~9Mbar S-1 |
工作溫度 |
+5~+40°C |
氣室材料: |
冷拉不銹鋼, 內(nèi)部超微米級(jí)電拋光 |
防護(hù)等級(jí): |
IP 65 |
氣路接口: |
1/4’’VCR |
流量等級(jí): |
建議為1~10 NL/Min |
工作電源: |
20~28VDC |
輸出信號(hào): |
4-20mA(RS485 可選) |
質(zhì)量保證期: |
12個(gè)月 |