半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀 PS-6AH簡(jiǎn)介
由于是4-20mA的標(biāo)準(zhǔn)輸出,因此可接入各種測(cè)量裝置和系統(tǒng)。由于有現(xiàn)場(chǎng)濃度顯示功能,因此可在設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)濃度??梢栽O(shè)定報(bào)警水平,故障報(bào)警,零抑制或線性表格等。檢測(cè)部有各種接點(diǎn)輸出信號(hào)。 | |
功能描述 | |
檢測(cè)原理: | 定電位電解式,熱線型半導(dǎo)體式,隔膜Galvanic電池式 |
檢測(cè)氣體: | SiH4,PH3,B2H6等 |
采樣方式: | 泵吸引式 |
采樣管道: | 特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm配管距離20m以內(nèi),但吸著性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m |
氣體濃度顯示: | 0~9999LED顯示 |
輸出信號(hào): | 4~20mA(與電源的負(fù)端共用) |
報(bào)警輸出: | 第1段第2段都是開(kāi)路集電極OFF |
適合電纜: | KW~P3芯或4芯 |
適用溫度: | 0~40℃ |
電源: | DC24V±10% |
消耗電力: | 約10W |
物理特性 | |
長(zhǎng)度 | 198mm |
寬度 | 145mm |
高度 | 37mm |
重量 | 約2.7kg |
持有證書(shū) | |
CE | |
其它 | |
檢測(cè)氣體:SiH4,PH3,B2H6,AsH3,H2Se,Si2H6,SiH2Cl2,GeH4,(CH3)3CAsH2,(CH3)3CPH2,NH3,HF,PF3,HCl,HBr,F2,Cl2,O3,CO,H2S,SO2,NO2,H2,O2. |
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