氣體名稱 |
化學(xué)式 |
范圍 |
氨 |
NH3 |
0-100PPM |
氫化砷 |
AsH3 |
0-0.2PPM |
三氯化硼 |
BCL3 |
0-8.0PPM |
三氟化硼 |
BF3 |
0-8.0PPM |
三氟化硼(低濃度的) |
BF3 |
0-2.0PPM |
溴 |
Br2 |
0-0.4PPM |
二氧化碳 |
CO2 |
0-2.0%VOL |
一氧化碳 |
CO |
0-100PPM |
氯 |
CL2 |
0-2.0PPM |
二氧化氯 |
CLO2 |
0-0.4PPM |
三氟化氯 |
CLF3 |
0-0.4PPM |
硼乙烷 |
B2H6 |
0-0.4PPM |
二氯甲硅烷 |
H2SICL2 |
0-8.0PPM |
二氟甲烷 |
CH2F2 |
0-120PPM |
乙硅烷 |
SI2H6 |
0-20PPM |
氟 |
F2 |
0-4.0PPM |
鍺烷 |
GeH4 |
0-0.8PPM |
六氟丁二烯 |
C4F6 |
0-40PPM |
氫(爆炸下限) |
H2 |
0-100%LEL |
氫PPM |
H2 |
0-1000PPM |
溴化氫 |
HBr |
0-8.0PPM |
氯化氫 |
HCL |
0-8.0PPM |
氰化氫 |
HCN |
0-20PPM |
氟化氫 |
HF |
0-12PPM |
氟化氫(低濃度) |
HF |
0-2.0PPM |
硫化氫 |
H2S |
0-40PPM |
硫化氫(高濃度) |
H2S |
0-100PPM |
甲烷(爆炸下限) |
CH4 |
0-100%LEL |
甲基氟 |
CH3F |
0-60PPM |
二氧化氮 |
NO2 |
0-12PPM |
一氧化氮 |
NO |
0-100PPM |
三氟化氮 |
NF3 |
0-40PPM |
八氟環(huán)戊烯 |
C5F8 |
0-40PPM |
氧氣能力&缺氧 |
O2 |
0-25% |
臭氧 |
O3 |
0-0.4PPM |
磷化氫 |
PH3 |
0-1.2PPM |
氫氧化磷 |
POCL3 |
0-0.4PPM |
硅烷 |
SIH4 |
0-20PPM |
硅烷(低濃度的) |
SIH4 |
0-2.0PPM |
二氧化硫 |
SO2 |
0-8.0PPM |
六氟化硫 |
SF6 |
0-8000PPM |
四氟化硫 |
SF4 |
0-0.4PPM |
正硅酸乙酯 |
TEOS |
0-40PPM |
六氟化鎢 |
WF6 |
0-12PPM |
六氟化鎢(低濃度的) |
WF6 |
0-2.0PPM |