型號(hào) |
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SE500 | |
測(cè)量參數(shù) |
Ra、Rz、Rt、Rp、Rv、RSm、Rq、Rsk、Rku、Rmr(c)、Rmr, Rδc、RΔq、Rc、Ry、Rmax、Rpm、Rk、Rvk、Rqk、Pa、Pz、Pt、Pp、Pv、PSm、Pq、Psk、Pku、Pmr(c)、Pmr、Pδc、PΔq、Pc、PPI、Wa、Wz、Wt、Wp、Wq、Wmr(c)、Wsm、WcA、WcM、Sm、S、tp、Htp、Δq、Δa、HSC、λa、λq、Mr1、Mr2、A1、A2 | ||
測(cè)量范圍 |
縱:800μm 橫:55mm 垂直分辨率:0.08nm | ||
高倍 |
垂直 |
50、100、200、500、1,000、2,000、5,000、10,000、20,000、50,000、100,000、200,000、自動(dòng) | |
橫向 |
1~1,000 自動(dòng) | ||
截至波長(zhǎng) |
表面粗糙度 |
λc 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0mm | |
輪廓 |
λf 0.8、2.5、8.0、25.0mm | ||
濾波 |
高斯,2CR,特別高斯 | ||
自動(dòng)調(diào)整 |
全部、前半、后半、中心、兩個(gè)點(diǎn) | ||
測(cè)量長(zhǎng)度 |
評(píng)定長(zhǎng)度λc制度× 1〜× 5,×為n(n:81最大)系統(tǒng)0.08,0.25,0.8,2.5,8.0毫米標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度和任意長(zhǎng)度為0.001mm | ||
測(cè)量速度 |
0.05、0.1、0.2、0.5、1.0,2.0mm/s | ||
直線度精度 |
0.3μm/55mm | ||
探測(cè)器 |
測(cè)針:R2μm,測(cè)力:0.75mN, 60°角 | ||
安裝尺寸和重量 |
600×420×190mm
10kg | ||
電源電壓 |
単相AC90~240V 50/60Hz |