830/840氣體質(zhì)量流量計和調(diào)節(jié)儀
830質(zhì)量流量計和840 質(zhì)量流量調(diào)節(jié)儀是為對0~10sccm到0~200scfm內(nèi)的空氣和過程氣體進行精確測量和控制而設(shè)計的。因為所用材料為316不銹鋼,所以該裝置適合于大多數(shù)清潔氣體,包括腐蝕性氣體的測量。
特點
● 直接監(jiān)測質(zhì)量流量,無需壓力和溫度傳感
● 專利的直傳感器管道使清潔簡單且縮短了維修停用期
● 鉑傳感器消除了零漂,確保長期穩(wěn)定
● 快速響應(yīng)控制閥響應(yīng)時間為1秒,并且可以在較大的差壓范圍內(nèi)工作
● 基本標準標定確保了起始點準確性和NIST可追蹤性
● 外殼,過程連接,輸入/輸出和控制電子元件供選范圍很大
● CE認證
● 獲中華人民共和國計量器具批準證書(CPA)
參數(shù)
氣體:所有清潔氣體;訂貨時具體指出。
質(zhì)量流量:0~10sccm 到0~5600slpm;規(guī)定的流量是760 毫米汞柱、21OC(70OF)條件下的氮氣相應(yīng)流量;也可提供以其它單位(即:scfh 或nm3/h)表示的流量范圍。
氣體壓力:最大 1000psig(69barg),僅低流量流體;
最大 500psig(34barg),30psig(2barg)最佳。
氣體&環(huán)境溫度:32ºF 到122ºF(0ºC 到50℃);要求較高溫度,訂貨時需特殊指出。
防滲漏功能:最大為 5×10-9atm cc/sec(氦氣)。