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TY10Pura Plus在線微量濕度異動變送器ZX21

TY10

Pura Plus在線微量濕度異動變送器

ZX21
Pura Plus在線微量濕度異動變送器
訂 貨 號:zy408410 品    牌:英國michell 產(chǎn)    地:英國 市 場 價: 折 扣 價: 發(fā)貨周期:現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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產(chǎn)品描述技術(shù)方案相關(guān)儀器最新上架商品咨詢使用評價

Pura Plus在線微量濕度異動變送器的產(chǎn)品介紹:
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標的最新需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)最末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后,會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示,在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。
亮點
對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng)
低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
多點測量安裝的全新概念
維護要求低
信號燈式的狀態(tài)指示
可設(shè)置警告和報警點
Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
遠程控制界面的多通道軟件
(UHP) 超純氣體的管線檢測
技術(shù)指標:

響應(yīng)速度<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍0 to 10 bar
耐壓等級300 bar
泄漏測試0-9 mbar l/s
工作流量范圍1 ~ 10 l/min
工作溫度5 ~ 40°C
存儲溫度30 ~ 70°C
電源20 ~ 28 V DC
功耗5 W 最大
外部保險絲等級500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出2 路
最大電壓40 V DC
最大電流100 mA
氣體接觸的材質(zhì) 
外殼材質(zhì)不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層
內(nèi)部容積4.4cm3
重量450g
氣路接口1/4" m VCR
電氣接口9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性EN50081-2 和 EN50082-2

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Pura Plus在線微量濕度異動變送器

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