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TY10KOSAK ET200臺階儀ZX21

TY10

KOSAK ET200臺階儀

ZX21
KOSAK ET200臺階儀
訂 貨 號:zy422494 品    牌:日本小坂 產(chǎn)    地:日本 市 場 價: 折 扣 價: 發(fā)貨周期:現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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產(chǎn)品描述技術(shù)方案相關(guān)儀器最新上架商品咨詢使用評價
產(chǎn)品描述:

與AFM 的差異最主要是觸針形狀不同,ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制,故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK,差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去,故nm以下的表面粗度則以AFM為主。
主要特性
一. 極佳再現(xiàn)性與線性度
再現(xiàn)性• • • 可達(dá)0.1nm
線性度• • •針對不同厚薄樣品,使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特別是針對thin film更佳
縱軸最高解析度0.1nm
橫軸最高解析度0.01um
可測定微細(xì)形狀
三. 低測定力
低測定力• • •效果可比擬非接觸
測定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設(shè)置
可測定軟質(zhì)材料面,如:ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等
四. 超高真直度
超高真直度• • •可測定試片之長距離測定
追溯性:通過認(rèn)證工廠,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產(chǎn)品出廠皆檢附出廠校正報告
高機(jī)械真直度精度保證:
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可測定試片之長距離測定,例如:平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力等等
真直度保證• • •確保測定圖形不受影響
五. 即時監(jiān)控量測位置
即時監(jiān)控量測位置• • •可易辨認(rèn)微小樣品
配備標(biāo)準(zhǔn)CCD:即時監(jiān)控量測位置
可選購TOPVIEWCCD,執(zhí)行高精度定位量測
六. 形狀及粗度解析
形狀及粗度解析
粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá)60種
可測定段差及PITCH量測
七.可擴(kuò)充成三次元設(shè)備
形狀及粗度解析
粗度規(guī)范對應(yīng):可對應(yīng)各種國際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá)60種
可測定段差及PITCH量測
主要客戶
高校及研究單位:機(jī)械、材料、化學(xué)、
光電、校正中心。
民間企業(yè):光電(TFT、CF、STN、TP、
LED、OLED) and 半導(dǎo)體。
KOSAK ET 200主要規(guī)格:


技術(shù)參數(shù):

一、測定工件
1. 最大工件尺寸:φ160mm
2. 最大工件厚度:50mm
3. 最大工件重量:2kg
二、檢出器(pick up):
1. Z方向測定範(fàn)圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 測定力:min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑:2 μm
5. 驅(qū)動方式:直動式
6. 再現(xiàn)性:1σ= 1nm
三、X 軸 (基準(zhǔn)軸):
1. 移動量(最大測長):100mm
2. 移動的真直度:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能0.1μm
四、Z軸:
1. 移動量:50mm
2. 移動速度:max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機(jī)能
4. 位置決定分解能:0.2μm
五、工件臺:
1. 工件臺尺寸:φ160mm
2. 機(jī)械手動傾斜: ± 1mm/150mm
六、工件觀察:
max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床臺:
材質(zhì)為花崗巖石
八、防振臺(選購):
落地型或桌上型
九、電源:
AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量:
W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震臺)


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KOSAK ET200臺階儀

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