COVANCE-MP等離子表面處理系統(tǒng)真空室:Dia. 150mm × L. 320mm 氣 路:標(biāo)準一路氣體(最多3路氣體,MFC) 電 源:50kHz,200W 操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式) 壓力監(jiān)測:大氣壓~ 1×10-3 Torr 選配項:石英腔體/ Dia. 150mm × D. 350mm 電源功率升級(最大300W) 射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)