CUTE-MPR等離子表面處理系統(tǒng)真空室:140 × 200 × 110(W × D × H / mm) 氣 路:標(biāo)準(zhǔn)一路氣體(最多2路氣體,MFC) 電 源:50kHz,100W 操作界面:全自動(dòng)&手動(dòng)操作(觸摸屏模式) 壓力監(jiān)測(cè):大氣壓~ 1×10-3 Torr 選配項(xiàng):電源功率升級(jí)(最大300W) 射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)