CUTE-MP等離子表面處理系統(tǒng)真空室:Dia. 108mm × L. 250mm
氣 路:標(biāo)準(zhǔn)一路氣體(最多3路氣體,MFC)
電 源:50kHz,100W
操作界面:全自動(dòng)&手動(dòng)操作(觸摸屏模式)
壓力監(jiān)測(cè):大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項(xiàng):石英腔體/ Dia. 80mm × L. 250mm
電源功率升級(jí)(最大300W)
射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)